セミナー内容

1.真空技術に携わる人が知っておくべき基礎知識

（１）真空ってなに？
（２）気体分子運動論ってなに？
（３）真空と表面の関係性

2.真空装置の基本構成

（１）真空の作り方
（２）真空の測り方
（３）真空装置の基本構成
●プロセス室●排気システム●ガス制御系●エネルギー制御系
（４）真空装置の構成材料
●金属材料●ガラス材料●樹脂材料

3.真空装置の種類 ～製造装置、分析装置、周辺装置～

(１)真空を利用した製造設備　
●成膜装置●アニール装置●露光装置●エッチング装置
(２)真空を利用した分析設備
●電子顕微鏡●加速器
(３)真空装置の周辺設備　
●冷却設備●ガス供給設備●安全設備

4.真空装置が使われているプロセスについて

(１)プラズマ加工
●プラズマとはそもそもなに？●プラズマの作り方
(２)半導体製造
●半導体の作り方●真空の関わり合い

5.現場のトラブルシューティング

(１)日々の管理項目
(２)トラブルの原因と対応策
(３)なにが壊れやすく、在庫として持っておくべきもの